旋渦式真空泵是近年來國(guó)內(nèi)外備受重視并得到迅速發(fā)展的一種真空泵。渦旋真空泵具有抽氣通道內(nèi)沒有油污染、泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行成本低、工作壽命長(zhǎng)、能耗低、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低等特點(diǎn)，得到了真空獲得行業(yè)的歡迎與市場(chǎng)的青睞。而其在設(shè)計(jì)、制造方面較高的技術(shù)含量，也受到國(guó)內(nèi)外科技界的廣泛重視。
渦旋的形狀被定義為繞固定的軸心展開直線的軌跡。渦旋上任意一點(diǎn)的迪卡爾坐標(biāo)值如下式所示：X= α*（cosθ+θ*sinθ）Y= α*（sinθ-θ*cosθ）其中常數(shù)α代表軸半徑，θ代表展開角。旋渦式真空泵的渦旋盤付就是一個(gè)一端與平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，這樣結(jié)合組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對(duì)稱的幾對(duì)月牙腔，動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，使靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣循環(huán)。
例如在雙級(jí)渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的靜渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，就有一組新的月牙腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1850轉(zhuǎn)/分的頻率被連續(xù)重復(fù)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。
上個(gè)世紀(jì)后期，真空獲得廠商應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染、抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油真空泵的單級(jí)、雙級(jí)渦旋真空泵。旋渦式真空泵在需要清潔無油、廉價(jià)和長(zhǎng)壽命真空泵的場(chǎng)所被大量應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了全無油、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源的清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。
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